压电振动片及其制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
Abstract:
本发明提供一种能够不使电阻值R1增加地改善短路故障的压电振动片的制造方法。这是一种利用由压电材料所形成的圆片来制造压电振动片的方法,其特征是在压电板的外表面上构图电极膜以形成一对电极的电极形成工序(S4)包括:在压电板的表面成膜电极膜的电极膜形成工序(S4a);在电极膜上成膜光刻胶膜的光刻胶膜形成工序(S4b);通过用于光刻胶图案而配置了第一开口部的掩模对光刻胶膜进行曝光的第一曝光工序(S4c);以及通过在与第一开口部的一部分相重合的位置配置了第二开口部的校正掩模进一步对光刻胶膜进行曝光的第二曝光工序(S4d),其中,与一对电极的间隙相对应的第二开口部的开口宽度小于等于与该间隙相对应的第一开口部的开口宽度。
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