发明授权
CN102655983B 研磨垫 失效 - 权利终止 转让

研磨垫
摘要:
本发明的目的在于提供一种研磨垫,其具有具备相分离结构的研磨层,研磨速度大,平坦化特性优良,能够抑制划痕的产生。本发明的研磨垫,具有研磨层,所述研磨垫的特征在于,所述研磨层由含有异氰酸酯封端预聚物(A)、异氰酸酯封端预聚物(B)以及增链剂的聚氨酯原料组合物的反应固化物形成,其中,所述异氰酸酯封端预聚物(A)通过使包含异氰酸酯成分和聚酯系多元醇的预聚物原料组合物(a)反应而得到,所述异氰酸酯封端预聚物(B)通过使包含异氰酸酯成分和聚醚系多元醇的预聚物原料组合物(b)反应而得到,且所述反应固化物具有相分离结构。
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