发明授权
- 专利标题: 基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜
- 专利标题(英): Multiple-degree-of-freedom near-field optical microscope based on micro-nano motion arm
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申请号: CN201210119169.X申请日: 2012-04-20
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公开(公告)号: CN102662086B公开(公告)日: 2014-04-23
- 发明人: 王瑞 , 谢亮 , 祝宁华
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汤保平
- 主分类号: G01Q60/18
- IPC分类号: G01Q60/18
摘要:
一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜,包括:一微纳操作臂;一石英音叉固定于微纳操作臂的前端;一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上;一样品扫描台位于石英音叉的下方;一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接;一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接;一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接,其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接,另一输出端与样品扫描台的输入端相连接;一探测器和/或光源,该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力,同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力,占用空间小,非常便于与其他显微表征手段相结合。
公开/授权文献
- CN102662086A 基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜 公开/授权日:2012-09-12