基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜
摘要:
一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜,包括:一微纳操作臂;一石英音叉固定于微纳操作臂的前端;一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上;一样品扫描台位于石英音叉的下方;一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接;一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接;一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接,其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接,另一输出端与样品扫描台的输入端相连接;一探测器和/或光源,该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力,同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力,占用空间小,非常便于与其他显微表征手段相结合。
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