基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
摘要:
公开了一种用于光刻系统的技术。根据本发明的一个实施方式,光刻系统包括:布置在基板上的至少一个目标对象;通过对至少一个目标对象执行图像处理来确定用于至少一个目标对象的涂覆层的光学图案的处理器;以及将具有由处理器确定的光学图案的光提供到基板的曝光装置。
公开/授权文献
0/0