- 专利标题: 基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法
- 专利标题(英): Image processing-based lithography system and target object coating method
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申请号: CN201080043931.X申请日: 2010-09-29
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公开(公告)号: CN102668024A公开(公告)日: 2012-09-12
- 发明人: 劝圣勋 , 郑收恩 , 李昇娥 , 张志诚 , 韩相权
- 申请人: 首尔大学校产学协力团
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: 首尔大学校产学协力团
- 当前专利权人: 首尔大学校产学协力团
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 吕俊刚; 张旭东
- 优先权: 10-2009-0093027 20090930 KR; 10-2010-0005094 20100120 KR
- 国际申请: PCT/KR2010/006602 20100929
- 国际公布: WO2011/040745 KO 20110407
- 进入国家日期: 2012-03-30
- 主分类号: H01L21/027
- IPC分类号: H01L21/027
摘要:
公开了一种用于光刻系统的技术。根据本发明的一个实施方式,光刻系统包括:布置在基板上的至少一个目标对象;通过对至少一个目标对象执行图像处理来确定用于至少一个目标对象的涂覆层的光学图案的处理器;以及将具有由处理器确定的光学图案的光提供到基板的曝光装置。
公开/授权文献
- CN102668024B 基于图像处理的光刻系统和目标对象涂覆方法 公开/授权日:2015-09-09
IPC分类: