发光二极管(LED)晶圆的前端划线以及结果器件
Abstract:
发光二极管(LEDs)的晶圆被激光划线以产生激光划线切口。随后,所述晶圆例如通过湿蚀刻而被清洗以减少划线损害。随后,在已被清洗的所述晶圆上形成用于所述LEDs的电触点层。可替代地,在触点形成之前可以由多个蚀刻产生所述划线切口。相关的LEDs也被描述。
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