发明公开
CN102668271A 布线连接方法和功能器件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 布线连接方法和功能器件
- 专利标题(英): Wiring connection method and functional device
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申请号: CN201080048508.9申请日: 2010-09-01
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公开(公告)号: CN102668271A公开(公告)日: 2012-09-12
- 发明人: 田中秀治 , 江刺正喜 , 松崎荣 , 毛利护
- 申请人: 国立大学法人东北大学
- 申请人地址: 日本宫城县
- 专利权人: 国立大学法人东北大学
- 当前专利权人: 国立大学法人东北大学
- 当前专利权人地址: 日本宫城县
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权: 2009-202078 20090901 JP
- 国际申请: PCT/JP2010/064880 20100901
- 国际公布: WO2011/027762 JA 20110310
- 进入国家日期: 2012-04-26
- 主分类号: H01R43/02
- IPC分类号: H01R43/02 ; H01L23/02
摘要:
本发明提供布线连接方法和功能器件。在第一基板(10)的连接电极部(12)、第二基板(15)的连接电极部(17)中的至少一个连接电极部上预先形成金属层(14),以第一基板(10)的连接电极部(12)与第二基板(15)的连接电极部(17)隔着金属层(14)相对的方式使第一基板(10)与第二基板(15)重叠之后,通过一边第一基板(10)与第二基板(15)升温至阳极接合温度并维持该温度一边对第一基板(10)与第二基板(15)之间施加直流电压,对第一基板(10)与第二基板(15)进行阳极接合,与此同时,使金属层(14)熔融而对第一基板(10)的连接电极部(12)与第二基板(15)的连接电极部(17)进行电连接。由此,能够以良好成品率对多个基板进行阳极接合的同时进行布线连接,对封装等有效。
公开/授权文献
- CN102668271B 布线连接方法和功能器件 公开/授权日:2016-03-02