本发明提供一种用于电极活性材料的气相沉积系统，其能够在通过沉积在电极板上涂覆电极活性材料的过程中防止气相沉积源被用于形成非涂覆部分的遮罩污染。该气相沉积系统包括：拆卷机，供应电极板；卷绕机，卷绕电极板；引导鼓，引导要被传送的电极板；遮罩，成形为具有一预定宽度的圆筒，具有以规则间隔形成的多个狭缝，并在引导鼓下方旋转；气相沉积源，位于遮罩中并喷射电极活性材料到电极板上；防粘附板，形成为板形，并位于遮罩中气相沉积源下方；以及加热器，位于防粘附板下方。