发明授权
- 专利标题: 双频激光器稳频装置及其控制方法
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申请号: CN201110053304.0申请日: 2011-03-07
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公开(公告)号: CN102684058B公开(公告)日: 2015-09-30
- 发明人: 吴萍 , 张志平 , 张晓文 , 池峰 , 陈勇辉
- 申请人: 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: H01S3/13
- IPC分类号: H01S3/13 ; H01S3/04
摘要:
本发明提供了一种双频激光器的稳频装置包括激光管、磁环,所述双频激光器稳频装置还包括控制器、频率检测单元以及紧贴激光管设置的温控单元,控制器与温控单元连接,磁环围绕温控单元设置,频率检测单元连接在激光管和控制器之间。本发明还提供了一种双频激光器稳频装置的控制方法,该方法包括:温控单元工作使激光管达到初始温度值;在磁环的作用下激光管发出第一频率激光束和第二频率激光束;频率检测单元检测第一频率激光束和第二频率激光束,并将检测结果输送入控制器;控制器对检测结果进行判断,根据判断结果控制温控单元工作。本发明提供的双频激光器的稳频装置缩短了控制双频激光器达到稳频的时间,可快速稳频。
公开/授权文献
- CN102684058A 双频激光器稳频装置及其控制方法 公开/授权日:2012-09-19