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公开(公告)号：CN104142123B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201310168047.4
申请日：2013-05-08
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明属于激光精密测量技术，具体涉及一种应用于机械设备几何误差测量的三自由度激光测量系统。所述系统包括分光镜组、偏振分光镜组、运动反光镜组和固定反光镜组。本发明提供的技术方案基于双频激光干涉，可以同时测量3个物理量，其中1个位移量，2个旋转量，可以极大的缩短检测时间，提高检测效率，并且其可溯源性强，传感头为无源器件，不会引入热干扰，不需要电缆输出信号，进而消除热干扰导致的误差。同时，它针对特定的需求，成本适中，精度高，具备很强的应用性和市场价值，可以适用于各种复杂的机械设备，比如发动机，挖掘机，发电机，机车和数控机床等。
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公开(公告)号：CN104795920A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201410025032.7
申请日：2014-01-20
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开了一种六自由度微动装置，包括：上、下背板、设置在所述上、下背板之间且间隔设置的水平向音圈电机和垂向音圈电机，所述水平向音圈电机和垂向音圈电机均采用PCB线圈，使得微动装置的多个音圈电机结构尺寸更加接近设计值，从而减小了因结构尺寸与设计值存在偏差而导致的推力波动与推力干扰。由于PCB线圈的工艺限制，使微动装置中电机在同等条件下相对于漆包绕制的传统电机推力常数小，减少额为30%左右。
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公开(公告)号：CN102645179B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201110040790.2
申请日：2011-02-18
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于双频干涉的面型测量装置和方法。本发明的核心思路为：激光器发出偏振态垂直、频率不同的参考光和测量光，利用分光干涉单元以及扫描单元得到具有被测镜信息的干涉光信号；面型绘制单元接收上述干涉光信号并得到被测点的形貌数据；扫描单元中的反射镜能够旋转、被测镜承载台能够运动，使得面型绘制单元能够得到被测镜上多个点的形貌数据及位置数据，进而能够进行被测镜的面型绘制。本发明的优点是：测量精度高、抗干扰能力强，对整个装置本身的要求降低；信号处理的难度相对很低；装置制造成本低，光学部件的面型测量成本降低。
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公开(公告)号：CN102564613B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201010619284.4
申请日：2010-12-31
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明提出一种波长跟踪器，包括：一单轴干涉仪，实时检测波长变化；一标准腔，由相距一定距离的反射镜组成，为测试光线提供一光程；以及一底板，所述单轴干涉仪及所述标准腔固定于底板上形成一个整体；所述底板热膨胀系数接近于零，以保证所述底板上的所有光学元件的相对几何距离稳定。本发明提供的波长跟踪器，可同时对空气折射率变化和激光器本身参数变化引起的波长变化进行跟踪测量，同时还具有结构简单、装调难度低、测量分辨率高等优点。
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公开(公告)号：CN102288104B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201110206449.X
申请日：2011-07-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海微电子装备有限公司
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02056 , G01B2290/70
摘要： 一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。
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公开(公告)号：CN103376055A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210118777.9
申请日：2012-04-20
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提出一种高分辨率线性干涉仪，包括：偏振分光棱镜、透射臂角锥棱镜、反射臂角锥棱镜，所述干涉仪还包括透射臂四分之一波片，反射臂四分之一波片以及公共角锥棱镜，所述公共角锥棱镜和反射臂四分之一波片分别设置于所述偏振分光棱镜的相对两侧面，所述透射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜相对于入射激光光源的第三侧面，所述透射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜和透射臂角锥棱镜之间，所述反射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜和反射臂角锥棱镜之间。本发明提出的光学高分辨率的线性干涉仪，它仍然以角锥棱镜作为被测物体，使用时对装调要求不高，但通过增加四分之一波片，具备四倍光学细分的优点，使光学分辨率提高到λ/4。
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公开(公告)号：CN102832533A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110164989.6
申请日：2011-06-17
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： H01S3/08
摘要： 本发明提出一种提高塞曼双频激光器频差的装置，包括：激光管；加热丝，紧密缠绕于所述激光管的管壁上；磁环，设置于所述激光管的外围；隔震橡胶，灌注于所述加热丝和所述磁环之间。本发明公布了一种提高塞曼双频激光器频差的装置，它可以在保持所用单频激光器性能不变的情况下，大大提高由塞曼效应产生的双频激光束的频差。本发明选用带磁轭的中空磁环，为激光器提供均匀分布的磁场，提高由塞曼效应产生的频率分裂程度，从而提高双频激光器的频差性能。
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公开(公告)号：CN101592527A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910049043.8
申请日：2009-04-09
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供一种多通道温度采集系统，包括传感单元、电流源、多路扫描开关单元、模数转换器、控制器等，所述传感单元包含有一组温度传感器，用以对该多通道温度采集系统周围环境的温度进行采集，所述电流源用以给所述传感单元提供电流激励，多路扫描开关单元用以对所述传感单元的温度传感器进行选择，并将选择的温度传感器所采集到的温度数据传输给所述模数转换器；模数转换器用以将所述多路扫描开关单元选择的模拟信号转换为数字信号，并提供给所述控制器，所述控制器用以对多路扫描开关单元提供开关选择信号、对电流源提供选择信号、对模数转换器的数字信号进行处理并提供给所述存储器。本发明的多通道温度采集系统，结构简单，提高采集精度。
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公开(公告)号：CN1858652A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200610027269.4
申请日：2006-06-02
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种保持光刻机高速同步控制时序信号完整性的方法，同步总线控制器在叠层时确保高速信号的阻抗控制，此外，同步总线控制器在叠层时电源平面与地平面相邻，形成一个板级电容，同时，信号层与地平面相邻。本发明实现了对步进扫描投影光刻机曝光扫描的同步信号控制，以同步总线数据传输作为时间基准，通过同步总线的最小时间单元，严格控制各个信号的时间点，从而实现各个子模块之间信号的实时和同步。
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公开(公告)号：CN104949610A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201410109212.3
申请日：2014-03-24
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G01B7/30
摘要： 本发明公开一种磁浮线缆台电机磁对准系统，包括：磁浮线缆台电机，所述磁浮线缆台电机包括动子线圈组件和定子磁钢阵列组件；所述动子线圈组件的绕线柱上设置第一线性霍尔传感元件，用于测量磁场的Z向磁密值，根据所述磁密值计算磁对准角度；所述磁对准角度的计算公式为：；其中为所述定子磁钢阵列组件的磁极距，y为所述电机所在的位置，H1、H2分别为线性霍尔传感元件测得的两个Z向磁密值。
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