发明公开
- 专利标题: 摩擦力显微镜
- 专利标题(英): Friction force microscope
-
申请号: CN201210063860.0申请日: 2012-03-02
-
公开(公告)号: CN102721834A公开(公告)日: 2012-10-10
- 发明人: 安武正敏 , 渡边将史
- 申请人: 精工电子纳米科技有限公司
- 申请人地址: 日本千叶县千叶市
- 专利权人: 精工电子纳米科技有限公司
- 当前专利权人: 日本株式会社日立高新技术科学
- 当前专利权人地址: 日本千叶县千叶市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 何欣亭; 王忠忠
- 优先权: 2011-048198 20110304 JP
- 主分类号: G01Q60/26
- IPC分类号: G01Q60/26
摘要:
本发明提供一种摩擦力显微镜,其中具备摩擦力的计算机构,分别根据从悬臂的挠曲方向的位移信息求出的挠曲灵敏度及从扭曲方向的位移信息求出扭曲灵敏度来计算悬臂的有效探针高度及扭曲弹簧常数,并使用该计算值。从而在摩擦力显微镜中,能够进行悬臂的定量的摩擦力的测定。
公开/授权文献
- CN102721834B 摩擦力显微镜 公开/授权日:2016-03-16