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公开(公告)号：CN113227759B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN201980087117.9
申请日：2019-01-09
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N15/0205 , G01N15/0227
摘要： 本发明的目的在于提供能够定量地计测在样品内进行布朗运动的粒子的尺寸分布的光计测技术。本发明的尺寸分布计测装置一边沿计测光的光轴方向扫描焦点位置，一边计测反射光强度，并按照其中最大的反射光强度计算粒子的尺寸分布(参照图9)。
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公开(公告)号：CN118243838A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311406804.7
申请日：2023-10-26
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N30/86
摘要： 提供色谱图的数据处理方法、数据处理装置、色谱装置、数据处理程序以及记录介质。色谱的数据处理方法包括：峰提取工序，从在所述色谱图中出现的峰组中提取与所述多个成分中的作为辨识目标的对象成分的数量相当的个数的对象峰；峰辨识工序，基于预先保存有所述对象成分的名称与作为该对象成分的保持时间的第一保持时间之间的关系的标准试样时间表，按照该第一保持时间从短到长或从长到短的顺序对所述对象峰分配所述对象成分的名称；以及标准试样时间表更新工序，利用作为所述对象峰的实测保持时间的第二保持时间来更新所述标准试样时间表的所述第一保持时间。
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公开(公告)号：CN110176378B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201910125241.1
申请日：2019-02-20
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
发明人： 铃木浩之
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/302 , H01J37/305 , G01N23/2251
摘要： 本发明提供带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质，抑制载置有试样的试样保持器与试样室的内部构造物之间的干涉。具有：载台，支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，驱动载台；试样室，收容载台；聚焦离子束镜筒，对试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，对试样照射电子束；检测器，检测由于照射聚焦离子束或电子束而从试样产生的二次离子或二次电子；读取部，读取试样保持器上附带的识别信息；存储部，存储表示识别信息与试样保持器的形状的对应关系的保持器形状信息、以及试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；载台驱动范围限制部，根据试样保持器的形状和内部构造物的形状，限制支承试样保持器的载台的驱动范围。
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公开(公告)号：CN118050438A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202310749549.X
申请日：2023-06-21
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 本发明提供一种液相色谱仪装置，在未知试样的定量中不需要作为分析材料的标准试样。液相色谱仪装置(100)具有：操作显示部(10)，其进行用户的操作的受理和显示；以及控制部(9)，该液相色谱仪装置对规定的测量对象物质进行定量，其特征在于，操作显示部(10)受理测量对象物质以及与测量对象物质不同的规定的标准物质的指定，控制部(9)根据RMS系数、标准物质的物质量、以及基于测量对象物质和标准物质的检测结果的检测响应比，对测量对象物质进行定量，其中，RMS系数是测量对象物质与标准物质的响应比(Rr)相对于测量对象物质与标准物质的物质量比(Rn)的比。
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公开(公告)号：CN110176379B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN201910126745.5
申请日：2019-02-20
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/244
摘要： 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。
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公开(公告)号：CN110954637B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN201910788274.4
申请日：2019-08-26
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N30/88
摘要： 本发明提供色谱仪及色谱分析的定量方法，既使用基于内部标准法的检量线，又不需要在未知试样中添加标准物质的作业，在简化测定的同时抑制了定量精度的降低。色谱仪具备控制部和存储部，对规定的测定对象进行定量，存储部存储基于内部标准法的检量线数据，该检量线数据是通过对测定对象添加规定浓度的内部标准而求出的，具有测定对象的强度和内部标准的强度之间的强度比，当测定了包含规定浓度的内部标准的QC样品的色谱、以及包含浓度未知的测定对象且不包含内部标准的未知试样的色谱时，控制部根据QC样品的内部标准的强度和未知试样的测定对象的强度计算出强度比，根据检量线对未知试样的测定对象进行定量。
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公开(公告)号：CN117805033A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202310930521.6
申请日：2023-07-26
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 提供偏振光图像的偏振光图像获取装置和热分析装置。偏振光图像获取装置安装于热分析装置，热分析装置具备一对试样容器和加热炉，加热炉具有窗或开口部，经由该窗或开口部至少能够观察测定试样，该偏振光图像获取装置具有：安装部；光源；偏振器，其构成偏振滤光器，使来自光源的照射光偏振；摄像头；半透半反镜；检偏器，其构成偏振滤光器，使反射光在经过半透半反镜后偏振而入射到摄像头，反射光是透过偏振器的偏振光从半透半反镜经由窗或开口部照射测定试样或参照试样而反射的反射光，偏振器、检偏器、半透半反镜、光源固定于固定部件而构成光学单元，偏振光图像获取装置还具有旋转机构，该旋转机构使固定部件向使检偏器实施偏振的方向旋转。
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公开(公告)号：CN110361565B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201910226947.7
申请日：2019-03-25
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01Q10/00
摘要： 本发明提供扫描型探针显微镜及其扫描方法。在进行间歇测定方法时，避免探针和试样表面相互成为过负荷，并且缩短试样表面的凸凹形状的测定时间。扫描型探针显微镜具有安装有探针的悬臂，通过使所述探针与试样表面间歇地接触而对所述试样表面进行扫描，其中，所述扫描型探针显微镜具有控制装置，该控制装置进行使所述探针和所述试样表面接触的第1动作、以及在所述第1动作后使所述探针和所述试样表面分离的第2动作，所述控制装置通过使所述悬臂进行热变形来执行所述第2动作。
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公开(公告)号：CN111081515B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN201910898398.8
申请日：2019-09-23
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N23/2202
摘要： 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法，不用变更载台的尺寸便能够缩小电子束镜筒与试样之间的距离，从而得到高分辨率的SEM图像，并且能够得到正对试样的观察面的SEM图像。具有如下的工序：试样片形成工序，对所述试样照射聚焦离子束而从试样切出试样片；截面加工工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，对试样片的截面照射聚焦离子束而进行截面的加工；试样片接近移动工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，使试样片移动到比聚焦离子束的束光轴与电子束的束光轴的交点更接近电子束镜筒的位置；以及SEM图像取得工序，朝向试样片的所述截面照射电子束，从而取得截面的SEM图像。
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公开(公告)号：CN111584335B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202010064843.3
申请日：2020-01-20
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 本发明提供复合带电粒子束装置和控制方法，能够根据会聚离子束的期望的加速电压来设定会聚离子束的射束助推器的电压的值。复合带电粒子束装置具有：离子供给部，其供给离子束；加速电压施加部，其通过向离子供给部所供给的离子束施加加速电压，而使离子束加速；第1会聚部，其使离子束会聚；射束助推电压施加部，其向离子束施加射束助推电压；第2会聚部，其使离子束会聚而向试样照射；电子束照射部，其向试样照射电子束；以及控制部，其根据如下设定值设定射束助推电压施加部向离子束施加的射束助推电压的值，该设定值是根据加速电压施加部向离子束施加的加速电压的值和会聚后的离子束的焦距而预先确定的。
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