一种无接触式粗精动叠层六自由度定位装置，涉及一种超精密六自由度运动定位装置。该定位装置包括一个微动平台，和对称布置在微动平台两侧的两个粗动台。每个粗动台由直线电机独立驱动实现沿Y轴运动，微动平台由十个音圈电机驱动实现六自由度运动。测量系统包括一个激光尺、两个光栅尺、七个电涡流传感器，测量系统能够测量每个粗动平台沿Y轴方向的绝对位置、微动平台六自由度绝对位置、粗动平台与微动平台之间沿Y轴方向的相对位置。粗动台中两个直线电机独立运动，当音圈电机通电时微动平台悬浮在粗动台上方，实现了粗动台之间、粗动台与微动平台之间的无接触式叠层运动，避免了现有结构中机械接触引起的运动耦合与结构干涉等问题。