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发明公开
CN102737937A 在带电粒子仪器中保护辐射检测器的方法 有权

  • 专利标题： 在带电粒子仪器中保护辐射检测器的方法
  • 专利标题（英）： Method of protecting radiation detector in charged particle instrument
  • 申请号： CN201210099031.8
    申请日： 2012-04-06
  • 公开(公告)号： CN102737937A
    公开(公告)日： 2012-10-17
  • 发明人: M.T.奥滕 , G.C.范霍夫滕 , J.洛夫
  • 申请人： FEI公司
  • 申请人地址： 美国俄勒冈州
  • 专利权人： FEI公司
  • 当前专利权人： FEI公司
  • 当前专利权人地址： 美国俄勒冈州
  • 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 刘春元; 李家麟
  • 优先权： 11161427.7 20110407 EP
  • 主分类号： H01J37/26
  • IPC分类号： H01J37/26 ;  H01J37/244
在带电粒子仪器中保护辐射检测器的方法
摘要：
本发明涉及在带电粒子射束设备中保护辐射检测器的方法。本发明涉及一种在TEM中保护直接电子检测器（151）的方法。本发明包括在设置新的射束参数诸如改变聚光透镜（104）、投影器透镜（106）和/或射束能量的激发之前预测检测器上的电流密度。该预测是使用光学模型或者查表实现的。当预测的检测器暴露小于预定数值时，实现所期改变，否则产生警告消息并且推迟设置的改变。
摘要（英）：

The invention relates to a method of protecting a radiation detector in a charged particle instrument. The invention relates to a method of protecting a direct electron detector (151) in a TEM. The invention involves predicting the current density on the detector before setting new beam parameters, such as changes to the excitation of condenser lenses (104), projector lenses (106) and/or beam energy. The prediction is made by using an optical model or a Look-Up-Table. When the predicted exposure of the detector is less than a predetermined value, the desired changes are made, otherwise a warning message is generated and changes to the settings are postponed.

公开/授权文献
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