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发明公开
CN102737938A 宽孔径维恩ExB质量过滤器 有权

  • 专利标题： 宽孔径维恩ExB质量过滤器
  • 专利标题（英）： Wide aperature wien exb mass filter
  • 申请号： CN201210107965.1
    申请日： 2012-04-13
  • 公开(公告)号： CN102737938A
    公开(公告)日： 2012-10-17
  • 发明人: D.塔格尔 , N.W.帕克
  • 申请人： FEI公司
  • 申请人地址： 美国俄勒冈州
  • 专利权人： FEI公司
  • 当前专利权人： FEI公司
  • 当前专利权人地址： 美国俄勒冈州
  • 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 王岳; 李家麟
  • 优先权： 61/476135 20110415 US; 13/089875 20110419 US
  • 主分类号： H01J37/30
  • IPC分类号： H01J37/30
宽孔径维恩ExB质量过滤器
摘要：
本发明涉及宽孔径维恩ExB质量过滤器。一种ExB维恩质量过滤器提供与质量分离所需的偶极电场组合的可独立调整的电场。可独立调整的电场可以用于提供更大的光学孔径、校正像散并将波束偏转至与磁场平行和/或垂直的方向。
摘要（英）：

An ExB Wien mass filter provides an independently-adjustable electric field combined with the dipole electric field required for mass separation. The independently adjustable electric field can be used to provide a larger optical aperture, to correct astigmatism and to deflect the beam in direction parallel and/or perpendicular to the magnetic field.

公开/授权文献
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