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公开(公告)号：CN105390358A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510738998.X
申请日：2011-04-07
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要： 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN104380425B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380033434.5
申请日：2013-05-24
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/21 , H01J27/205 , H01J37/08 , H01J2237/006 , H01J2237/082 , H01J2237/0827 , H01J2237/31749
摘要： 具有气体腔室的高亮度离子源包括多个通道，其中，多个通道各自具有不同的气体。使电子射束穿过通道之一以提供某些种类的离子用于处理样本。能够通过将电子引导到具有不同的气体种类的另一个通道中并且利用第二种类的离子处理样本来快速地改变离子种类。偏转板用于将电子射束对准到气体腔室中，借此允许快速地切换聚焦离子射束中的气体种类。
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公开(公告)号：CN104380425A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380033434.5
申请日：2013-05-24
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/21 , H01J27/205 , H01J37/08 , H01J2237/006 , H01J2237/082 , H01J2237/0827 , H01J2237/31749
摘要： 具有气体腔室的高亮度离子源包括多个通道，其中，多个通道各自具有不同的气体。使电子射束穿过通道之一以提供某些种类的离子用于处理样本。能够通过将电子引导到具有不同的气体种类的另一个通道中并且利用第二种类的离子处理样本来快速地改变离子种类。偏转板用于将电子射束对准到气体腔室中，借此允许快速地切换聚焦离子射束中的气体种类。
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公开(公告)号：CN103531426A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310268310.7
申请日：2013-06-28
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/256 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2448
摘要： 一种用于带电粒子束系统的分割栅极多通道次级粒子检测器包括第一栅极段和第二栅极段，每个栅极段具有独立的、产生电场的偏置电压，以便将从靶上发射出来的同轴次级粒子引导向这些栅极之一。可以改变或反转这些栅极的偏置电压，以便每个栅极可以用于检测次级粒子，并且该多通道粒子检测器作为整体可以延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN103512781A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310231578.3
申请日：2013-06-09
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01N1/28
CPC分类号： G01N1/32 , H01J37/3023 , H01J37/3056 , H01J2237/31745
摘要： 一种用于在衬底中生成基本上平坦的面的方法和系统，该方法包括：将一个或多个射束引导到衬底的第一表面处以从衬底中的第一位置移除材料，射束从第一表面的法线偏移非零垂落角；在垂直于第一表面的平面内扫动这一个或多个射束以在衬底中研磨出一个或多个初始切口，这些初始切口使基本上垂直于第一表面的第二表面暴露；使衬底围绕轴线旋转非零旋转角，该轴线不同于与第一射束正交或平行于第一射束的轴线；在不改变第一非零垂落角的情况下将第一射束引导到第二表面处，以从衬底中移除另外的材料；以及使这一个或多个射束在第二表面上按图案进行扫描，以在衬底中研磨出一个或多个最终切口。
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公开(公告)号：CN102812533A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要： 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN105319226A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510457266.3
申请日：2015-07-30
申请人： FEI公司
CPC分类号： C12N15/1065 , B01J2219/00605 , B01J2219/00623 , B01J2219/00722 , C12Q1/6806 , H01J37/20 , H01J2237/2004 , H01J2237/2802
摘要： 本发明涉及用于定位和成像生物样本的功能化网格及其使用方法。提供了一种用于在带电粒子显微术中使用的功能化样本支架，所述功能化样本支架包括：样本支架表面，被配置为在利用带电粒子显微镜对样本进行探询期间支撑样本，所述样本支架表面具有功能化部位，每个功能化部位被配置为通过附接、吸引或它们的组合来在功能化部位处维持所述样本之一的一部分的位置。
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公开(公告)号：CN103843107A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280030689.1
申请日：2012-06-21
申请人： FEI公司
CPC分类号： H05H1/24 , H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/321 , H01J2237/002 , H01J2237/061 , H01J2237/0817 , H01J2237/31749 , H05H1/46 , H05H2001/4652
摘要： 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室和和流体，不主动地对该流体进行泵送，该流体包围等离子体室以便在等离子体室与在接地电势下的附近部件之间提供高压隔离，如导电屏蔽。一个或多个冷却装置通过使用蒸发冷却和热管将来自等离子体室的热量消散到周围环境中来对等离子体室进行冷却。
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公开(公告)号：CN103094031A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210438995.0
申请日：2012-11-06
申请人： FEI公司
CPC分类号： G21K1/00 , H01J37/09 , H01J2237/045 , H01J2237/0453
摘要： 实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。
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