热电转换元件的制造装置及制造方法
摘要:
本发明涉及热电转换元件的制造装置及制造方法。本发明提供能够容易地实现高密度排列热电转换元件和确保连接可靠性的热电转换元件的制造装置。在吸升p型或n型的热电转换材料而填充到耐热性绝缘材料制造的管子(102)的内部的热电转换元件的制造装置中,包括在吸升溶化了的热电转换材料之前,能够将管(102)加热到规定的温度的预加热装置(205)。将由预加热装置(205)加热而被调整了温度条件的管子(102)插入坩埚(204)中,通过减压装置(201)将溶化了的热电转换材料向该管子(102)的内部吸起。
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