压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
Abstract:
本发明减小各压电振动器的基底基板和盖基板的接合宽度(L)的值。在基底基板用圆片(40)形成多个具备2个贯通电极(7)的基底基板(2),在各基底基板(2)装配压电元件片(4)。另外,在盖基板用圆片(50)形成多个具备凹部(3a)的盖基板(3),并形成接合膜(35)。通过将该基底基板用圆片(40)和盖基板用圆片(50)对接并阳极接合而制作由多个压电振动器(1)构成的圆片体(60)。随后,在盖基板用圆片(50)侧,沿着各压电振动器(1)的切断线照射激光而添加微小槽(813),由锐利的按压刀(830)从相反侧按压,由此,依次切断。通过这样从相反侧按压微小槽,效率良好且彻底地分割圆片体(60)。
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