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发明公开
CN102749159A 具有密封结构的传感器器件 有权

具有密封结构的传感器器件
摘要：
本发明提供了一种具有密封结构的传感器器件。传感器器件包括传感器结构(102)，该传感器结构(102)包括具有在其上形成的感测布置的第一部分(108)，以及第二结构(106)。密封结构(104)被插入在传感器结构(102)和第二结构(106)之间，其中密封结构(104)包围传感器结构(102)的第一部分(108)。密封结构(104)建立在第一部分(108)的第一侧上的固定基准压力，并且第一部分(108)的相对侧暴露于环境压力。
摘要（英）：

The invention provides a sensor device with a sealing structure. The sensor device includes a sensor structure (102) including a first portion (108) having a sensing arrangement formed thereon and a second structure (106). A sealing structure (104) is interposed between the sensor structure (102) and the second structure (106), wherein the sealing structure (104) surrounds the first portion (108) of the sensor structure (102). The sealing structure (104) establishes a fixed reference pressure on a first side of the first portion (108), and an opposing side of the first portion (108) is exposed to an ambient pressure.

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