大口径光学镜面超精密加工集成平台
摘要:
一种大口径光学镜面超精密加工集成平台,解决了现有光学加工技术领域在大口径光学镜面的加工中没有考虑加工与检测集成的问题。本发明集大口径光学镜面的磨削、检测及研磨为一体,包括:底座,水平移动装置、旋转装置、超精密磨削装置、镜面检测装置以及研磨装置。水平移动装置驱动所述旋转装置可沿水平方向移动至工件安装位置、磨削位置、面形检测位置及研磨位置;竖直移动装置驱动主轴系统及金刚石砂轮沿竖直方向上下移动;主轴系统可以调节金刚石砂轮的倾斜角度;金刚石砂轮具有弧面;旋转装置位于工件安装位置时可对工件进行弧面磨削;当旋转装置位于所述面形检测位置时可对工件进行面形检测;当旋转装置位于研磨位置时可对工件进行研磨。
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