发明授权
CN102770952B 硅锭的提取装置及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 硅锭的提取装置及方法
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申请号: CN201080054736.7申请日: 2010-12-14
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公开(公告)号: CN102770952B公开(公告)日: 2016-06-22
- 发明人: 张棋铉 , 南东铉
- 申请人: 株式会社KCC
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: 株式会社KCC
- 当前专利权人: 株式会社KCC
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 黄志华
- 优先权: 10-2009-0124176 2009.12.14 KR
- 国际申请: PCT/KR2010/008917 2010.12.14
- 国际公布: WO2011/074847 KO 2011.06.23
- 进入国家日期: 2012-06-01
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677
摘要:
本发明涉及一种硅锭的提取装置及方法。本发明的装置包括:腔室,在所述腔室中引入在冷坩埚中形成的硅融液;一次提取装置,所述一次提取装置设置成相对于所述腔室在垂直方向上可以移动,并且所述一次提取装置凝固所述硅融液且提取硅锭;移动装置,所述移动装置在水平方向上移动所述一次提取装置;以及二次提取装置,所述二次提取装置设置到在所述腔室的下方使得所述二次提取装置在垂直方向上可以移动,所述二次提取装置在所述一次提取装置横向移动的状态下提取所述硅锭。本发明具有如下效果:通过减小提取装置的高度,可以降低设备的制造成本,而且还可以减小设置提取装置的空间。
公开/授权文献
- CN102770952A 硅锭的提取装置及方法 公开/授权日:2012-11-07
IPC分类: