发明公开
- 专利标题： 粒子源及其制造方法
- 专利标题（英）： Particle source and preparation method thereof
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申请号： CN201110137252.5申请日： 2011-05-16
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公开(公告)号： CN102789946A公开(公告)日： 2012-11-21
- 发明人: 刘华荣 , 陈娉
- 申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 申请人地址： 安徽省合肥市高新区香樟大道199号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市高新区香樟大道199号
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吕雁葭
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J37/06 ; H01J9/02
摘要：
本发明提供了一种粒子源，包括：底座，具有平缓的顶部；和针尖，形成为底座顶部上的微小突起。本发明的粒子源能够提供大束流密度和小束流角。
公开/授权文献
- CN102789946B 粒子源 公开/授权日：2016-01-13