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公开(公告)号：CN118538588A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202311370806.5
申请日：2023-10-20
申请人： 三星电子株式会社
发明人： 宣尚佑
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/06
摘要： 一种用于容纳PFG的细丝对准设备，该PFG包括支撑板、在支撑板上的绝缘体、以及在绝缘体的端部处的细丝。该细丝对准设备包括：主壳体，具有第一板凹槽和开口侧表面，支撑板的第一部分插入到第一板凹槽中；辅助壳体，用于覆盖主壳体的开口侧表面的至少第一区域，并且具有第二板凹槽，支撑板的第二部分插入到第二板凹槽中；高度调节器，包括在主壳体的上侧壁上的高度控制器、以及设置在高度控制器的端部上并且其上悬挂细丝的固定钩；以及铰链，用于将辅助壳体的侧壁可旋转地连接到主壳体的侧壁。
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公开(公告)号：CN112673449B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201880097383.5
申请日：2018-09-25
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/06
摘要： 本发明使从热场发射电子源发射的电子束的量稳定化。因此，对热场发射电子源设置减少因加热第一电极而释放的气体量的构造，该热场发射电子源具有针状的电子源(301)、固定电子源并加热电子源的金属线(302)、固定于绝缘子并对金属线进行通电的心柱(303)、具有第一开口部304a并且电子源的前端从第一开口部突出地配置的第一电极(304)、具有第二开口部(306a)的第二电极(306)、以及以第一开口部的中心轴与第二开口部的中心轴一致的方式对第一电极和第二电极进行定位，获得第一电极与第二电极的电绝缘的绝缘体(307)。
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公开(公告)号：CN118398461A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410326665.5
申请日：2024-03-21
申请人： 中山大学
摘要： 本发明涉及真空微纳电子源的技术领域，更具体地，涉及一种提升供应电流的电子源结构及其制备方法，利用厚度均匀的绝缘层贴合覆盖与发射体串联的P型半导体凸起结构表面，覆盖绝缘层外表面的控制电极相对P型半导体处于高电位，在凸起结构侧表面形成大面积的载流子耗尽层，利用其中的热产生电子向发射体供应场发射电流，从而增大单位衬底面积向发射体供应的热产生电流，提升发射电流强度及电流密度，有效解决了现有技术中基于P型半导体衬底的集成控制电极电子源中供应电流密度小、发射电流强度及电流密度受限的问题。
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公开(公告)号：CN113078039B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202110340940.5
申请日：2021-03-30
申请人： 上海联影医疗科技股份有限公司
IPC分类号： H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/067
摘要： 本发明提供了一种电子枪装置及医用直线加速器，所述电子枪装置包括：第一压紧单元、弹性单元、电子枪单元以及第二压紧单元；所述阳极设置于所述第二压紧单元上，所述阴极通过弹性单元与所述第一压紧单元连接，并与所述阳极相对设置；所述弹性单元沿所述电子枪单元的轴向设置，并为所述阴极提供轴向力，用于使所述阴极与所述阳极之间的距离保持预设值；或者，所述阳极与所述阴极固定地沿所述轴向相对设置，所述电子枪单元通过弹性单元与所述第一压紧单元连接；所述弹性单元沿所述电子枪单元的轴向设置，并为所述电子枪单元提供轴向力，用于使所述电子枪单元与所述加速管之间的距离保持预设值。如此保证电子枪装置的输出、加速管的输入的稳定性。
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公开(公告)号：CN113646864B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980094952.5
申请日：2019-04-18
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/06 , H01J37/073
摘要： 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。
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公开(公告)号：CN117594402A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311824410.3
申请日：2023-12-27
申请人： 苏州浪声科学仪器有限公司
发明人： 杜亚明
IPC分类号： H01J37/075 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/141 , H01J37/06
摘要： 本申请涉及电子显微镜领域，尤其是涉及一种扫描电子显微镜用电子枪，包括真空座，真空座内安装有热发射模块，热发射模块与外部电源相连，真空座上还安装有对中机构，对中机构用于将真空座与聚光镜的镜筒相连，且对中机构用于对真空座进行对中调节，本申请改善了传统方式中电子枪发射的电子束与光学中心存在偏差的问题，能够达到减小电子束与光学中心的偏差的效果。
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公开(公告)号：CN117316745A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311258664.3
申请日：2023-09-27
申请人： 桂林电子科技大学
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/141 , H01J37/06 , H01J37/30
摘要： 一种改善电子束聚焦的方法。电子枪的结构是电子束聚焦的关键，首先阐述了电子枪工作的原理和过程，经过理论分析的同时利用CST软件模拟仿真分析了电子枪阴极和聚束极的位置关系，阳极和阴极的距离，磁透镜的结构大小，铁壳对磁透镜的影响，铁壳的径隙大小对聚焦的影响，选择合适的结构参数，进而提高焦点质量。
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公开(公告)号：CN117116730A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311258653.5
申请日：2023-09-27
申请人： 桂林电子科技大学
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/141 , H01J37/06 , H01J37/30
摘要： 对电子枪的结构优化，通过聚焦磁场和偏转磁场的深入分析，建立磁场更加均匀的聚焦线圈和均匀磁场范围更大的偏转线圈，减小像差对电子束束斑的影响，通过建立数字化补偿控制策略和数字化控制系统，对电子束的扫描进行动态控制。通过结构优化减小像差对电子束束斑形状的影响。电子束形成的圆形焦斑，其功率密度分布呈高斯分布，能量分布均匀。
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公开(公告)号：CN116989707A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310789956.3
申请日：2023-06-29
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
IPC分类号： G01B15/00 , G01T1/29 , G01T7/00 , H01L21/66 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/147 , H01J37/244
摘要： 本发明提供一种电子束量测装置，该装置包括电子枪、电透镜、磁透镜、偏转器、物镜以及电子探测器；电子枪用于产生电子束；电透镜用于产生电场，以对电子束进行第一次会聚；磁透镜用于产生磁场，以对电子束进行第二次会聚；偏转器用于偏转电子束，以对晶圆进行扫描；物镜用于将电子束聚焦于晶圆上，以使会聚后的电子束轰击晶圆产生电子信号；电子探测器用于基于电子信号进行成像。本申请中，通过使用电透镜对电子束进行第一次会聚，不仅可以保证激励的变化与场力的变化之间的一致性，同时还可以缩短切换激励的时间，提高了束流调节的效率。
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公开(公告)号：CN116864359A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202311033092.9
申请日：2018-09-25
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/06
摘要： 本文涉及一种用于带电粒子束检查的样本预充电方法、设备和计算机可读介质。设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；孔径；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于孔径处于上游。
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