一种传感器及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种传感器及其制造方法,所述传感器包括:衬底基板、呈交叉排列的一组栅线和一组数据线、由所述一组栅线和一组数据线所界定的多个呈阵列状排布的感测单元,每个感测单元包括光电二极管传感器件和薄膜晶体管器件,其中,所述光电二极管传感器件包括:位于衬底基板之上的偏压线;位于偏压线之上、与偏压线导电接触的透明电极;位于透明电极之上的光电二极管;以及,位于光电二极管之上的接收电极;所述薄膜晶体管器件位于光电二极管之上。传感器在工作时,光线经过衬底基板直接透射在光电二极管传感器件上,对比于现有技术,大大减少了光损失,提高了光的吸收利用率。
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