直拉法单晶炉热场中的石墨件的清洗方法
摘要:
本发明公开了一种直拉法单晶炉热场中的石墨件的清洗方法,按照以下具体的操作步骤实施:安装石墨件;分别开启高温感应炉的炉体冷却水循环系统和电源冷却水循环系统;抽真空;加热,包括预热及升温过程,在1000℃之前升温过程中,按照每小时100℃的升温幅度进行,在1000-2000℃升温过程中,按照每小时50℃的升温幅度进行,在2000-2400℃升温过程中,按照每小时30℃的升温幅度进行;将高温感应炉内温度从2400℃均匀降温到80-100℃的出炉温度;石墨件出炉。本发明的方法,通过将SiC在高温下发生反应,延长石墨件的使用寿命15-30炉,适用于单晶炉中的各个石墨件的清洗。
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