Invention Publication
- Patent Title: 埋置有源元件的基板及埋置方法
- Patent Title (English): Substrate for embedding active element and embedding method
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Application No.: CN201110135359.6Application Date: 2011-05-24
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Publication No.: CN102800598APublication Date: 2012-11-28
- Inventor: 张霞 , 万里兮
- Applicant: 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 成都锐华光电技术有限责任公司
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 宋焰琴
- Main IPC: H01L21/50
- IPC: H01L21/50 ; H01L21/56 ; H01L23/31 ; H01L23/367 ; H05K1/18 ; H05K3/30

Abstract:
本发明公开了一种在基板中埋置有源元件的方法。该方法包括:在第一承载板的导电层上形成第一内层电路图形;将有源元件连接至第一承载板上的第一内层电路图形;在介质板上有源元件的对应位置加工空穴,空穴的长度和宽度均等于或大于有源元件的长度和宽度;将第二承载板、带有空穴的介质板和带有有源元件的第一承载板依次对准堆叠,形成有源元件埋入模块,第一承载板上的有源元件位于有源元件埋入模块的内部,置入介质板上的空穴;将有源元件埋入模块进行热压,形成埋置有源元件的基板,热压的温度大于等于介质板的玻璃转化温度。本发明具有工艺步骤简单、生产率高、成本低以及可进行返修等优点。
Public/Granted literature
- CN102800598B 埋置有源元件的基板及埋置方法 Public/Granted day:2015-08-19
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IPC分类: