一种四氯化硅提纯方法
摘要:
本发明提供一种四氯化硅提纯方法,采用隔板塔提纯四氯化硅,主要包括以下步骤,粗四氯化硅进入隔板精馏塔的隔板段进料侧;经分离后在隔板段的另一侧得到纯四氯化硅产品,塔顶得到轻组分和四氯化硅混合物,塔釜得到了重组分和四氯化硅混合物。本四氯化硅提纯方法实现了塔内完全热耦合,避免了能量的浪费,降低了精馏过程的能耗,从而降低多晶硅的生产成本;本发明与传统的四氯化硅提纯方法相比,流程缩短了,设备减少了,节省了占地面积;与传统的两塔方法相比,本四氯化硅提纯工艺中用隔板塔可以节约投资大于30%,降低能耗30%-50%。
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