一种氯硅烷混合物的分离方法

    公开(公告)号:CN102826553A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210294559.0

    申请日:2012-08-17

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明提供一种氯硅烷混合物的分离方法,主要解决了现有多晶硅生产中氯硅烷精馏分离工艺的流程长,投资大,能耗高等问题。本发明方法主要包括以下步骤:以含有二氯二氢硅、四氯化硅和三氯氢硅的氯硅烷混合物为原料,原料首先进入隔板精馏塔的隔板段进料侧,经分离后在隔板段采出侧得到三氯氢硅;塔顶得到二氯二氢硅;塔底得到四氯化硅。本发明的氯硅烷混合物的分离方法将隔板精馏技术应用到氯硅烷精馏中实现了塔内完全热耦合,与常规氯硅烷精馏流程相比可节省能耗30%左右,而且还缩短了流程,降低设备投资、节省占地面积。

    一种三氯氢硅精制方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102807223A

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201210295368.6

    申请日:2012-08-17

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明涉及一种三氯氢硅精制方法,利用了隔板精馏塔和普通精馏塔(脱重塔)的组合实现了三氯氢硅的精制。精制工艺主要包括以下步骤,粗三氯氢硅进入隔板精馏塔的隔板段进料侧;经分离后在隔板段的另一侧得到纯度高于99.99%三氯氢硅产品,塔顶得到轻组分和少量三氯氢硅混合物,塔釜得到了重组分和少量三氯氢硅混合物。隔板精馏塔的产品再进入一个常规的精馏塔实现二级脱重,最终得到符合电子级多晶硅纯度要求的99.999999999%的三氯氢硅。与常规三氯氢硅精制相比,缩短了精馏流程,实现了塔内完全热耦合,降低投资,减少了能耗,节省占地。

    一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法

    公开(公告)号:CN102530960A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110459911.7

    申请日:2011-12-31

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法,将来自多晶硅生产系统的氢气、补充的新鲜氢气、工业硅粉与来自多晶硅生产中的四氯化硅进入反应器I,反应温度500-600℃,反应压力3.5-5.0MPa,气相流速为0.1-2m/s进行反应,生成四氯化硅、三氯氢硅和少量二氯氢硅及氯化氢;分离后将四氯化硅进入反应器I循环反应,氯化氢送去与硅粉在反应器II中在反应温度为100-400℃,反应压力为0.1-0.5MPa条件下反应生成氯硅烷混合物,精馏分别得到四氯化硅、高纯三氯氢硅、二氯氢硅。本发明生成三氯氢硅过程无加入催化剂,保持反应转化率在20-30%之间,减轻了后续分离系统的负担;合理设计氯化氢反应途径减少能量消耗;提高压力增大了设备处理能力,使得整个多晶硅生产系统能够长期连续稳定运行。