- 专利标题: 排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵
- 专利标题(英): Deposit detection device for exhaust pump, and exhaust pump provided with the device
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申请号: CN201180016825.7申请日: 2011-04-27
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公开(公告)号: CN102812254B公开(公告)日: 2015-06-24
- 发明人: 榎本良弘
- 申请人: 埃地沃兹日本有限公司
- 申请人地址: 日本千叶县
- 专利权人: 埃地沃兹日本有限公司
- 当前专利权人: 埃地沃兹日本有限公司
- 当前专利权人地址: 日本千叶县
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 毛立群; 王忠忠
- 优先权: 2010-117302 2010.05.21 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/060254 2011.04.27
- 国际公布: WO2011/145444 JA 2011.11.24
- 进入国家日期: 2012-09-28
- 主分类号: F04D19/04
- IPC分类号: F04D19/04 ; F04B49/10 ; F04D27/00
摘要:
本发明提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵,其不管处理中使用的气体的种类、流量如何,而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物(泵内堆积物),且进行警告。排气泵(P)的泵控制装置(50)包含检测泵内堆积物的堆积物检测装置,堆积物检测装置具有执行初始处理的功能以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能,作为上述初始处理,指的是对排气泵的旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值进行读入处理和基于读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储处理,作为上述初始处理之后的事后处理,指的是对上述电动机的电流值进行读入处理、基于读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量的处理,堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。
公开/授权文献
- CN102812254A 排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵 公开/授权日:2012-12-05