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公开(公告)号：CN113454343B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202080017948.1
申请日：2020-03-09
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 检测真空泵的运行障碍的原因产生的流路位置处的、该原因产生稍微之前的堆积物的厚度。在从气体的进气口到排气口的流路中，堆积物传感器（21‑i）被配置于比该真空泵的运行障碍的原因产生的既定的流路位置靠上游侧或者下游侧。并且，堆积物传感器（21‑i）检测该堆积物传感器的配置位置处的堆积物的有无，堆积物传感器（21‑i）的配置位置为下述位置：在堆积物传感器（21‑i）的检测状态从没有堆积物变为有堆积物时，上述的既定的流路位置处的堆积物的厚度变为与抑制该原因的维护的维护时间相对应的既定厚度。
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公开(公告)号：CN118019913A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065493.X
申请日：2022-11-09
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
发明人： 山口俊树
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 本发明提供一种能够在磁轴承无法控制时降低旋转体作用在触底轴承上的动能的真空泵。真空泵(100)具备设置有旋转叶片(102)的旋转体(103)、设置在旋转体的中心的转子轴(113)、悬浮支承转子轴的磁轴承(114)、被设置为与转子轴之间存在间隙、且在磁轴承无法控制时支承转子轴的触底轴承(155，156)，具有保护触底轴承的轴承保护构造，轴承保护构造由设置在旋转体和旋转体周边的部件的至少一方的突出部(160)构成，在转子轴向触底轴承发生触底时，旋转体经由突出部与旋转体周边的部件接触，从而降低旋转体作用在触底轴承上的动能。
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公开(公告)号：CN117795214A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280053585.6
申请日：2022-08-23
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
发明人： 小野贵晃
摘要： 提供一种在使用磁轴承的悬浮系统中能够高灵敏度地测定旋转体的固有振动模式的磁轴承装置及真空泵。在步骤1中，开始第二运转模式的运转。在步骤3中，控制器7的增益比第一运转模式时的增益增大。在步骤5中，在该状态下测定固有振动频率。作为测定对象的固有振动是旋转体103的弯曲模式、旋转叶片102的固有振动模式、起因于定子的振动模式、旋转体103的刚体模式。由控制装置的中央运算处理装置(CPU)进行运算处理，但也可以在外部进行运算处理。在步骤5中的固有振动频率的测定后，在步骤7中使控制器7的增益返回到第一运转模式时的增益。在步骤9中，第二运转模式的运转结束。因此，能够高灵敏度地检测固有振动模式。
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公开(公告)号：CN117795213A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280053335.2
申请日：2022-08-23
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
发明人： 小野贵晃
摘要： 提供在使用磁轴承的悬浮系统中、运转效率良好、且能够安全地从振荡等异常状态恢复、异常的误检测较少且可靠性较高的磁轴承装置及真空泵。具备：磁轴承，将旋转体以磁力悬浮支承在空中；以及磁轴承控制器，对磁轴承进行控制；具备：第1异常检测机构，基于规定的第1异常条件，检测由磁轴承控制器进行的控制的异常；控制参数修正机构，当由第1异常检测机构检测到控制的异常时，一边继续磁轴承装置的运转一边将磁轴承控制器的控制参数修正；第2异常检测机构，基于异常的程度比第1异常条件大的规定的第2异常条件，检测由磁轴承控制器进行的控制的异常；以及停止机构，当由该第2异常检测机构检测到控制的异常时，将磁轴承装置的运转停止。
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公开(公告)号：CN112840130B
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN201980068956.6
申请日：2019-10-24
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
发明人： 山口俊树
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公开(公告)号：CN116888369A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202280017568.7
申请日：2022-03-11
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 提供能够使用户、现场服务的工程师的作业负担减轻的真空泵、真空泵的控制装置及远程控制装置。真空泵(10)具备：涡轮分子泵(100)，将半导体制造装置(X)的内部的气体排出；以及控制装置(200)，进行对于涡轮分子泵(100)的控制。控制装置(200)具备远程信号接收机构，所述远程信号接收机构从对涡轮分子泵(100)进行远程控制的远程控制装置(300)接收指令信号，控制装置(200)基于远程信号接收机构接收到的指令信号，将与涡轮分子泵(100)的运转规格有关的设定变更。
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公开(公告)号：CN116848324A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202280014833.6
申请日：2022-02-25
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
发明人： 铃木春树
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 本发明的目的是得到一种抑制析出物的堆积并且良好的容许流量的真空泵。在该真空泵中，设置有转子以及与转子对置配设的具有气体压缩功能的多个定子部，还设置有基准部件(301)，所述基准部件(301)是从底座部(129)朝向进气口(101)侧层叠的部件中的1个，成为该多个定子部的轴向位置的基准。而且，该多个定子部配设在比基准部件(301)靠下游侧(排气口(133)侧)。
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公开(公告)号：CN116057279A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180062314.2
申请日：2021-10-01
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
发明人： 坂口祐幸
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 本发明提供适合实现腔内的压力的均匀化和压缩比的提高的真空泵和使用该真空泵的真空排气系统。真空泵(P1)具备筒状的内壳(1)、在内壳的外侧配置的筒状的定子(2)、在内壳和定子之间旋转自如地配设的筒状的轴(3)、将轴绕其轴心旋转驱动的马达(MT)、在轴的外周面配设的多层的旋转翼(4A、4B···)、在多层的旋转翼的外侧设置而具有吸气口(5)及排气口(6)的筒状的外壳(7)，在内壳(1)的外周面和轴(3)的内周面之间的间隙，设置阻碍气体向该间隙流入的密封机构(8)。
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公开(公告)号：CN115176089A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202180019034.3
申请日：2021-03-11
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 为了不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而实现转子的效率良好的散热，真空泵（P）具有气体吸气口（2）和气体排气口（3）的外装壳（1）以及在外装壳（1）中旋转的转子（6），借助转子（6）的旋转，进行从气体吸气口（2）向气体排气口（3）的气体的排气；在真空泵（P）中，将转子（6）的形状做成大致圆筒形状，在转子（6）的内周面与定子柱（4）之间流动着吹扫气体（PG），所述定子柱（4）与转子（6）的内周面的至少一部分对置，并且在吹扫气体（PG）的流路设置有将吹扫气体（PG）的流动扰乱的突起（41）或槽（43）。
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公开(公告)号：CN114930032A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202180008923.X
申请日：2021-01-20
申请人： 埃地沃兹日本有限公司
IPC分类号： F04D19/04
摘要： 提供是制冷剂等不会漏出到内部的构造、此外能够将旋转体充分地冷却而得到较高的可靠性、并且能够低成本化的旋转装置及真空泵。构成为，具备：壳体（11）；以及旋转体（18），具有相对于壳体（11）能够相对旋转地配置的旋转轴（20），且与旋转轴（20）一体地构成；具备：中空部（20b），在旋转体（18）的内部沿着旋转轴中心形成；以及冷却棒（43），被固定于壳体（11），不拥有将制冷剂喷出的机构而以与旋转体（18）非接触的状态设置在中空部（20b）内，将旋转体（18）的辐射热吸收而将旋转体（18）冷却。
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