用于生产半导体材料箔的装置和方法
摘要:
一种用于生产半导体材料箔的铸造设备,包括铸造框架和基片带。铸造框架被设置用于保持熔化的半导体材料且包括侧壁,侧壁的出口侧壁位于半导体材料箔的输出位置处。出口侧壁设有出口缝。铸造设备还包括局部力施加装置,以在出口缝的位置处将局部增大的外力施加在熔化的半导体材料上,以使作用在出口缝处的熔化材料上的外部压力增大。
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