单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法
摘要:
单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法,属于大尺寸脆性光学元件超精密加工领域,本发明为解决现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时波纹度误差、频域评价指标PSD1难以保证的问题。本发明该方法包括:一:粗加工;二:获取纵向条纹的空间周期T;三:判断加工机床的刚度,刚度过低,执行四;刚度过高,执行五;四:增大横梁与调平垫体之间的平均压力,然后执行六;五:减小横梁与调平垫体之间的平均压力或接触刚度,然后执行六;六:二次超精密加工,七:重新检测PSD1值,八:判断PSD1≤15nm2·mm是否成立;不成立,返回二;成立,完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件U的波纹度误差及频域指标PSD1的控制。
0/0