发明授权
- 专利标题: 用于对准电子电路板的对准装置及方法
- 专利标题(英): Alignment device and method to align plates for electronic circuits
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申请号: CN201210299577.8申请日: 2008-03-05
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公开(公告)号: CN102842529B公开(公告)日: 2015-07-08
- 发明人: 安德烈亚·贝茨尼
- 申请人: 应用材料意大利有限公司
- 申请人地址: 意大利圣比亚焦迪卡拉尔塔
- 专利权人: 应用材料意大利有限公司
- 当前专利权人: 应用材料意大利有限公司
- 当前专利权人地址: 意大利圣比亚焦迪卡拉尔塔
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 侯颖媖
- 分案原申请号: 2008801157775 2008.03.05
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68
摘要:
一种用于对准电子电路板(11)的对准装置包括:传送装置(13),该传送装置(13)能够沿传送轴将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至界定对准平面的对准位置(15)。该装置还包括活动构件(20),该活动构件(20)具有:第一移动构件(33),该第一移动构件(33)能够在第一方向上移动该活动构件(20),以使该活动构件(20)关联于该电路板(11),该第一方向的指向为第一轴,第一轴基本上与该对准平面垂直;第二移动构件(28),该第二移动构件(28)能够围绕该第一轴旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11);以及至少第三移动构件(34),该第三移动构件(34)能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第二方向的指向为第二轴,第二轴基本上横切于该第一轴,且基本上与该传送轴共平面。
公开/授权文献
- CN102842529A 用于对准电子电路板的对准装置及方法 公开/授权日:2012-12-26
IPC分类: