Invention Publication
- Patent Title: 一种半导体结构及其制造方法
- Patent Title (English): Semiconductor structure and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201110166632.1Application Date: 2011-06-20
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Publication No.: CN102842616APublication Date: 2012-12-26
- Inventor: 尹海洲 , 朱慧珑 , 骆志炯
- Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- Applicant Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Assignee: 中国科学院微电子研究所,北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- Current Assignee: 中国科学院微电子研究所,北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Agency: 北京汉昊知识产权代理事务所
- Agent 朱海波
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336

Abstract:
本发明提供了一种半导体结构,该结构包括衬底、半导体基体、半导体辅助基体层、空腔、栅极堆叠、侧墙、源/漏区,其中所述栅极堆叠位于所述半导体基体之上,所述侧墙位于所述栅极堆叠的侧壁上,所述源/漏区嵌于所述半导体基体中,并位于所述栅极堆叠的两侧,所述空腔嵌于所述衬底中,所述半导体基体悬置所述空腔上方,在沿栅极长度的方向上,所述半导体基体中间的厚度大于其两侧的厚度,在沿栅极宽度的方向上,所述半导体基体与所述衬底相连,所述半导体辅助基体层位于所述半导体基体的侧壁上,所述半导体辅助基体层与所述源漏区具有相反的掺杂类型,且其掺杂浓度高于所述半导体基体的掺杂浓度。相应地,本发明还提供了一种半导体结构的制造方法。利于抑制短沟效应,提高器件性能,并降低成本,简化工艺。
Public/Granted literature
- CN102842616B 一种半导体结构及其制造方法 Public/Granted day:2015-06-24
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