一种半导体结构及其制造方法
Abstract:
本发明提供了一种半导体结构,该结构包括衬底、半导体基体、半导体辅助基体层、空腔、栅极堆叠、侧墙、源/漏区,其中所述栅极堆叠位于所述半导体基体之上,所述侧墙位于所述栅极堆叠的侧壁上,所述源/漏区嵌于所述半导体基体中,并位于所述栅极堆叠的两侧,所述空腔嵌于所述衬底中,所述半导体基体悬置所述空腔上方,在沿栅极长度的方向上,所述半导体基体中间的厚度大于其两侧的厚度,在沿栅极宽度的方向上,所述半导体基体与所述衬底相连,所述半导体辅助基体层位于所述半导体基体的侧壁上,所述半导体辅助基体层与所述源漏区具有相反的掺杂类型,且其掺杂浓度高于所述半导体基体的掺杂浓度。相应地,本发明还提供了一种半导体结构的制造方法。利于抑制短沟效应,提高器件性能,并降低成本,简化工艺。
Public/Granted literature
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/78 .....由绝缘栅产生场效应的
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