- 专利标题： 合并多个几何像素图像并生成单个调制器像素图像的方法
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申请号： CN201180019471.1申请日： 2011-03-04
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公开(公告)号： CN102844715B公开(公告)日： 2015-12-02
- 发明人: L.伊万森 , A.奥斯特伯格
- 申请人： 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
- 申请人地址： 瑞典泰比
- 专利权人： 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
- 当前专利权人： 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
- 当前专利权人地址： 瑞典泰比
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 曲莹
- 优先权： 61/311,276 2010.03.05 US; 13/039,206 2011.03.02 US
- 国际申请： PCT/EP2011/053337 2011.03.04
- 国际公布： WO2011/107603 EN 2011.09.09
- 进入国家日期： 2012-10-17
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明涉及定制专用工件，比如芯片、平板或其它通过直接写入自定义图案而在基板上生产的电子装置。定制可以按装置、按基板、按批次进行或者用于其它一些无法使用自定义掩模或掩模组的小型存储媒体。特别地，本发明涉及定制在基板上的辐射敏感层中形成的潜像，合并标准图案数据和自定义图案数据以形成用于生产定制的潜像的自定义图案。很多种基板可得益于本发明所公开的技术。
公开/授权文献
- CN102844715A 合并多个几何像素图像并生成单个调制器像素图像的方法 公开/授权日：2012-12-26
IPC分类:
