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公开(公告)号:CN102844715A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201180019471.1
申请日:2011-03-04
申请人: 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/2051 , G03F7/70291 , G03F7/70508 , G03F7/70541 , G06F17/50
摘要: 本发明涉及定制专用工件,比如芯片、平板或其它通过直接写入自定义图案而在基板上生产的电子装置。定制可以按装置、按基板、按批次进行或者用于其它一些无法使用自定义掩模或掩模组的小型存储媒体。特别地,本发明涉及定制在基板上的辐射敏感层中形成的潜像,合并标准图案数据和自定义图案数据以形成用于生产定制的潜像的自定义图案。很多种基板可得益于本发明所公开的技术。
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公开(公告)号:CN102844715B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201180019471.1
申请日:2011-03-04
申请人: 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/2051 , G03F7/70291 , G03F7/70508 , G03F7/70541 , G06F17/50
摘要: 本发明涉及定制专用工件,比如芯片、平板或其它通过直接写入自定义图案而在基板上生产的电子装置。定制可以按装置、按基板、按批次进行或者用于其它一些无法使用自定义掩模或掩模组的小型存储媒体。特别地,本发明涉及定制在基板上的辐射敏感层中形成的潜像,合并标准图案数据和自定义图案数据以形成用于生产定制的潜像的自定义图案。很多种基板可得益于本发明所公开的技术。
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