发明授权
- 专利标题： 一种绒面AZO透明导电膜的制备方法
- 专利标题（英）： Preparation method of textured AZO (aluminum-doped zinc oxide) transparent conductive film
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申请号： CN201210352412.2申请日： 2012-09-21
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公开(公告)号： CN102863156B公开(公告)日： 2015-05-20
- 发明人: 彭寿 , 马立云 , 崔介东 , 王芸 , 曹欣 , 沈洪雪
- 申请人： 蚌埠玻璃工业设计研究院 , 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址： 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人： 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人： 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构： 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 倪波
- 主分类号： C03C17/245
- IPC分类号： C03C17/245 ; H01L31/18 ; H01L31/0224 ; H01L31/0236
摘要：
本发明涉及一种绒面AZO透明导电膜的制备方法，通过对高碱铝硅酸盐玻璃衬底类织构化处理形成玻璃表面的绒面结构，为后续AZO薄膜的直接生长并最终形成绒面提供基础，从而实现在玻璃表面直接生长的AZO透明导电膜具有绒面结构，免去了常规先成膜后酸蚀工艺对AZO透明导电膜厚度要求过高且造成无端刻蚀浪费的缺点，有效降低生产成本。通过本方法制备的AZO透明导电膜，其雾度为10～30%，可见光透过率≥85%，方块电阻8～15欧姆每方块。
公开/授权文献
- CN102863156A 一种绒面AZO透明导电膜的制备方法 公开/授权日：2013-01-09
