- 专利标题: 波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置
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申请号: CN201210251682.4申请日: 2012-07-19
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公开(公告)号: CN102902059B公开(公告)日: 2017-04-12
- 发明人: 松下友纪 , 松野靖史
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚; 吴孟秋
- 优先权: 2011-162899 20110726 JP
- 主分类号: G02B26/00
- IPC分类号: G02B26/00 ; G01J3/02
摘要:
本发明提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备:固定基板;可动基板,与固定基板相对;第一反射膜,形成于固定基板的与可动基板相对的面;第二反射膜,设置于可动基板,并与第一反射膜有间隙地对置;第一电极,设置于固定基板的与可动基板相对的面;第二电极,设置于可动基板,并与第一电极相对;接合部,设置于固定基板和可动基板互相对置的面,接合固定基板与可动基板;以及槽部,设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面,其中,形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。
公开/授权文献
- CN102902059A 波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置 公开/授权日:2013-01-30