一种全穆勒矩阵显微成像系统

    公开(公告)号:CN118980642A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202411447993.7

    申请日:2024-10-17

    发明人: 何赛灵 王涛 王楠

    摘要: 本申请公开了一种穆勒矩阵显微成像系统,涉及光学技术领域,该穆勒矩阵显微成像系统包括依次连接的偏振光产生模组、滤光模组和检偏成像模组;所述偏振光产生模组用于产生偏振光;所述偏振光照射到待测物体上;所述滤光模组用于对所述待测物体出射的光进行过滤;所述检偏成像模组包括依次设置的显微物镜、第二波片和偏振相机;所述检偏成像模组用于对所述滤光模组过滤的光进行偏振成像,得到偏振图像,并通过计算机对偏振图像进行计算得到所述待测物体的穆勒矩阵,从而得到穆勒矩阵图像。本申请仅需单个偏振相机作为探测器,结构简单,可靠性高,且测量速度快。

    外延片光致发光特性的测试方法和测试装置

    公开(公告)号:CN118980429A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202411070384.4

    申请日:2024-08-06

    IPC分类号: G01J3/443 G01J3/02

    摘要: 本发明提供了一种外延片光致发光特性的测试方法,可应用于半导体技术领域。该方法包括以下步骤:加热外延片至预设温度;利用目标激光光束激励外延片产生光信号;用探测器探测并记录光信号;以及基于光信号,判断外延片的光致发光特性。通过直接测试光致发光光谱来判断外延片在不同温度下的光致发光质量,避免了复杂的工艺验证。本发明还提供了一种外延片光致发光特性的测试装置。

    用于检测待测样品表面状态的装置

    公开(公告)号:CN118974538A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202280094635.5

    申请日:2022-04-12

    发明人: 高瑞彦 王海峰

    IPC分类号: G01N21/17 G01N21/21 G01J3/02

    摘要: 本申请提供一种用于检测待测样品表面状态的装置及其检测方法、化学机械研磨设备,用于检测待测样品表面状态的装置包括光源组件、第一凹球面镜、第二凹球面镜以及光学传感器,其中光源组件从第一凹球面镜的第一入射焦点上发射多条出射角度不同的光线,待测样品位于第一凹球面镜的第一出射焦点,第二凹球面镜的第二入射焦点与第一出射焦点重合,光学传感器位于第二凹球面镜的第二出射焦点上。通过发射多条出射角度不同的光线,并通过第一凹球面镜入射至待测样品上,使得用于检测待测样品表面状态的光线具有多个入射角度,进而产生具有多个强度变化的反射光线,相较于单一入射角度的光线,可减小测量误差。

    一种光纤式反射干涉光谱仪及其降噪方法

    公开(公告)号:CN118960961A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411307996.0

    申请日:2024-09-19

    摘要: 本发明公开了一种光纤式反射干涉光谱仪及其降噪方法,该光纤式反射干涉光谱仪包括光源组件、光纤组件、降噪组件和采集分析组件;光源组件出射的光线通过降噪组件的第一端入射至降噪组件内,降噪组件包括干涉结构,干涉结构用于增强预设波长的光线的光强,降噪组件的第二端将增强后的光线传输至光纤组件的第一端;光纤组件的第二端用于将光线出射至待测样品,并接收待测样品反射的光线,光纤组件的第三端用于将待测样品反射的光线传输至采集分析组件;采集分析组件用于根据待测样品反射的光线,分析待测样品的厚度和光学常数。本发明提供的光纤式反射干涉光谱仪可以在测量样品的厚度和光学常数的同时提高光线的短波段信噪比。

    多模散斑光谱仪、光谱恢复方法及光谱恢复系统

    公开(公告)号:CN118960956A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411040010.8

    申请日:2024-07-31

    发明人: 叶梦渊 徐成

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/45 G01J3/02

    摘要: 本发明公开了一种多模散斑光谱仪、光谱恢复方法及光谱恢复系统,涉及硅基光子器件领域,多模散斑光谱仪主要包括多模微环(1)、条波导(2)、螺旋波导(3)、分束器(4)和复用器(5);其中,多模微环(1)用于实现多种模式光信号的谐振和传输;条波导(2)用于传输多种模式光信号;螺旋波导(3)用于进行光信号模式的耦合,从而产生散斑;分束器(4)用于对散斑强度进行采样;复用器(5)用于将不同模式的光信号耦合进器件;复用器(5)、多模微环(1)、条波导(2)、螺旋波导(3)和分束器(4)依次串联连接。实施本发明提供的多模散斑光谱仪、光谱恢复方法及光谱恢复系统,能保持较大带宽的同时提高光谱分辨率。

    用于非均质混合物光谱测量的系统和方法

    公开(公告)号:CN118946789A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202380019735.6

    申请日:2023-01-12

    IPC分类号: G01J3/02 G01J3/44

    摘要: 本发明描述了使用光谱系统对非均质样品中的至少一种目标分析物进行光谱测量的方法和系统。这通常涉及生成并瞄准照明光束,该照明光束在样品表面或体积内形成具有焦点区域大小S的焦点区域,其中样品和焦点区域之间存在相对速度V的相对运动;选择光谱系统的检测器的曝光时间E与至少一种目标分析物的颗粒穿过焦点区域的传输时间T之间的期望比率;获取与焦点区域内样品区域的光谱相对应的一个或多个光谱数据集;并分析一个或多个光谱数据集以生成一个或多个相应的分析结果。

    一种稳态瞬态并行测试光谱仪及测试方法

    公开(公告)号:CN118936638A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202411009038.5

    申请日:2024-07-26

    摘要: 本发明涉及一种稳态瞬态并行测试光谱仪及测试方法,属于光谱测试设备技术领域,方法包括:设置光纤从显微荧光成像光路连接到第一光路导入狭缝或者第二光路导入狭缝;设置高重频脉冲激光器激发频率;控制电动XY位移台,逐点扫描被选定的样品测试区域;由反射光采集单元获取瞬态数据并保存至缓存;同时由透射光采集单元获取光谱数据并保存至缓存;重复上述步骤直至完成对样品测试区域所有点的扫描;获得瞬态荧光寿命衰减曲线或稳态光谱信息。本发明解决了现有光谱仪不能在同一时间对同一测试点同时进行瞬态和稳态测试问题,提高了测试效率,节约了一半的测试时间,最大限度减小了样品变性的可能性,排除了测试中发光过程的差异,实现了原位测试。

    一种太阳极紫外日冕双波段高分辨率成像光谱仪

    公开(公告)号:CN118936631A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202410278847.X

    申请日:2024-03-12

    IPC分类号: G01J3/02 G01J3/28

    摘要: 本发明公开的一种太阳极紫外日冕双波段高分辨率成像光谱仪,属于太阳极紫外观测领域。本发明为观测太阳日冕活动的工作在17nm~21nm和28nm~32nm波段下的狭缝扫描式高分辨率成像光谱仪。本发明包括第一片孔径光阑、第二片滤光片、第三片主反射镜、第四片狭缝件、第五片光栅次镜、第六片探测器、第七片探测器。本发明采用的光栅基于非罗兰圆结构,采用前置离轴凹面反射镜和凹面反射光栅结合的狭缝扫描式光谱成像结构,凹面反射光栅同时实现聚焦、衍射分光和像差校正的功能,能够获得大离轴狭缝视场下的高空间、光谱分辨的太阳日冕活动图像。本发明具有大离轴狭缝视场、空间分辨率高、光谱分辨率高、像散小、体积小的优点。

    光学集成芯片和高分辨率且低成本的集成手持式微型光谱仪

    公开(公告)号:CN118922753A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202380025932.9

    申请日:2023-06-13

    发明人: 张尊月 曾汉奇

    IPC分类号: G02B6/12 H04J14/02 G01J3/02

    摘要: 光集成芯片(70A,70B,70C)集成于硅基片(S)上,其包括波长复用器/解复用器(72A,72B,72C)、第一导光元件(74)和多个第二导光元件(76,78),波长复用器/解复用器(72A,72B,72C)具有相对的第一光耦合区(C1)和第二光耦合区(C2),第一导光元件(74)通过波长复用器/解复用器(72A,72B,72C)的第一光耦合区(C1)与波长复用器/解复用器(72A,72B,72C)光耦合,多个第二导光元件(76,78)通过波长复用器/解复用器(72A,72B,72C)的第二光耦合区(C2)与波长复用器/解复用器(72A,72B,72C)光耦合。此外,还提供了一种高分辨率且低成本的集成手持式微型光谱仪系统。