发明公开
- 专利标题: 一种用于多晶硅生产的隔壁热耦合精馏方法及设备
- 专利标题(英): Next-door thermal coupling distillation method and equipment for producing polycrystalline silicon
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申请号: CN201210435219.5申请日: 2012-11-05
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公开(公告)号: CN102923714A公开(公告)日: 2013-02-13
- 发明人: 黄国强 , 孙帅帅 , 王红星 , 王国锋
- 申请人: 天津大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路92号天津大学
- 专利权人: 天津大学
- 当前专利权人: 天津大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路92号天津大学
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 王丽
- 主分类号: C01B33/107
- IPC分类号: C01B33/107
摘要:
本发明涉及一种用于多晶硅生产的隔壁热耦合精馏工艺及设备,包括低压隔壁精馏塔、中压隔壁精馏塔、高压隔壁精馏塔、塔顶冷凝器和塔釜再沸器,两个精馏塔之间设置冷凝再沸器,后塔塔顶气相物料在冷凝再沸器中放热,冷凝为过冷液体后返回后塔,前塔塔釜物料在冷凝再沸器中吸热变为再沸蒸汽返回前塔。粗三氯氢硅原料连续经过三个隔壁精馏塔进行分离,在塔顶脱除低沸物,在塔底脱除高沸物,最终在高压塔侧线采出高纯度的三氯氢硅产品。相比于传统精馏工艺,隔壁精馏技术和差压热耦合技术既可以降低能耗又可以减少设备投资。本发明同时利用隔壁精馏技术和差压热耦合技术,生产成本和能耗大幅度降低,精馏节能70%左右。