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发明公开
CN102951601A 用于制造微机械结构的方法和微机械结构 有权

用于制造微机械结构的方法和微机械结构
摘要：
本发明提供一种用于制造微机械结构的方法和一种微机械结构。该微机械结构包括：由第一材料制成的第一微机械功能层（3），它具有被掩埋的、具有第一端部（E1）和第二端部（E2）的通道（6'）；在第二微机械功能层（11）中的具有封罩（12，13）的微机械传感器结构（S1，S2），该第二微机械功能层设置在第一微机械功能层（3）之上；在第二微机械功能层（11）中的边缘区域（R），该边缘区域（R）包围传感器结构（S1，S2）并且定义包含传感器结构（S1，S2）的内侧（RI）和背离传感器结构（S1，S2）的外侧（RA）；其中，第一端部（E1）位于所述外侧（RA）并且第二端部（E2）位于所述内侧（RI）。
摘要（英）：

The present invention provides a method for manufacturing a micromechanical structure, and a micromechanical structure. The micromechanical structure encompasses a first micromechanical functional layer (3), made of a first material, that comprises a buried conduit having a first end (E1) and a second end (E2); a micromechanical sensor structure (SA, S2) having a cap (12, 13) in a second micromechanical functional layer (11) that is disposed above the first micromechanical functional layer (3); an edge region (R) in the second micromechanical functional layer (11), such that the edge region (R) surrounds the sensor structure (S1, S2) and defines an inner side (R1) containing the sensor structure (S1, S2) and an outer side (RA) facing away from the sensor structure (S1, S2); such that the first end (E1) is located on the outer side (RA) and the second end on the inner side (R1).

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