一种大视场折反射投影光学系统
摘要:
本发明一种大视场折反射投影光学系统,沿光线传播方向依次经过第一光学镜片,第一透镜,第一反射镜,第二透镜,第三透镜;其中,所述第一光学镜片包含一透射部,及一反射部,且所述各光学元件在同一光轴上。本发明提出的一种i线一倍投影光学系统,能校正大视场范围内畸变、场曲、像散,并实现物像空间的双远心。在实现了NA0.1的数值孔径设计,满足实际的产品需求的同时,具有大的曝光视场,而且镜片数量减少到5片。
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