一种钨管的制造方法
摘要:
一种钨管的制造方法,涉及一种钨管。提供一种可获得壁厚均匀的钨管的制造方法。包括以下步骤:1)将基材固定在沉积设备上,对基材直接通电加热,通入反应气体进行反应,反应开始后,提高电流,至反应结束;2)反应结束后系统内改通保护气体,降温至室温;3)将基材除去,即得钨管,所得钨管是一种壁厚均匀的纯钨管。克服了采用化学气相沉积制取纯钨管过程中,由于受原料气体流量无法精确控制、温度不均匀、反应气体浓度变化等原因导致钨管壁厚不均匀的现象,所制备的钨管壁厚均匀。
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