发明授权
- 专利标题: 一种钨管的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing tungsten pipe
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申请号: CN201210489047.X申请日: 2012-11-26
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公开(公告)号: CN102978583B公开(公告)日: 2015-01-14
- 发明人: 陈志刚 , 冯振雷 , 颜彬游 , 庄志刚 , 孙小宝 , 杨金洪 , 钱文连 , 陈财华
- 申请人: 厦门钨业股份有限公司 , 厦门嘉鹭金属工业有限公司
- 申请人地址: 福建省厦门市海沧区柯井社
- 专利权人: 厦门钨业股份有限公司,厦门嘉鹭金属工业有限公司
- 当前专利权人: 厦门钨业股份有限公司,厦门嘉鹭金属工业有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市海沧区柯井社
- 代理机构: 厦门南强之路专利事务所
- 代理商 马应森
- 主分类号: C23C16/14
- IPC分类号: C23C16/14
摘要:
一种钨管的制造方法,涉及一种钨管。提供一种可获得壁厚均匀的钨管的制造方法。包括以下步骤:1)将基材固定在沉积设备上,对基材直接通电加热,通入反应气体进行反应,反应开始后,提高电流,至反应结束;2)反应结束后系统内改通保护气体,降温至室温;3)将基材除去,即得钨管,所得钨管是一种壁厚均匀的纯钨管。克服了采用化学气相沉积制取纯钨管过程中,由于受原料气体流量无法精确控制、温度不均匀、反应气体浓度变化等原因导致钨管壁厚不均匀的现象,所制备的钨管壁厚均匀。
公开/授权文献
- CN102978583A 一种钨管的制造方法 公开/授权日:2013-03-20
IPC分类: