发明授权
- 专利标题： 一种直拉单晶法的冷却工艺
- 专利标题（英）： Cooling process of czochralski single-crystal method
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申请号： CN201210462789.3申请日： 2012-11-16
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公开(公告)号： CN102978688B公开(公告)日： 2015-07-08
- 发明人: 周慧敏 , 高俊伟 , 汪奇 , 徐志群
- 申请人： 晶科能源有限公司
- 申请人地址： 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
- 专利权人： 晶科能源有限公司
- 当前专利权人： 新疆晶科能源有限公司
- 当前专利权人地址： 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 王学强
- 主分类号： C30B15/00
- IPC分类号： C30B15/00
摘要：
一种直拉单晶法的冷却工艺，即在冷却时，停止向炉体内通入冷却气体，与此同时，关闭真空泵，这样，就形成了一个密闭的空间，炉体内的气体作为介质就可以把更多的热传给炉壁流动的水，冷却效率更高。本发明在保证直拉单晶硅棒质量、成晶率以及生产周期的前提下，不仅使直拉法冷却工艺更加高效明显，还大大降低了冷却气体的使用量，从而较大程度上降低直拉法的生产成本。
公开/授权文献
- CN102978688A 一种直拉单晶法的冷却工艺 公开/授权日：2013-03-20
IPC分类:
