硅矿石碳热氯化制备SiCl4的装置和方法
摘要:
本发明提供了硅矿石碳热氯化制备SiCl4的装置和方法,该装置包括反应装置、密封系统、氩/氯气储存及流量控制系统、控温系统、冷却系统、收集系统和尾气吸收系统;密封系统将反应装置完全密封防止反应气体泄漏,球团放置在反应装置中,氩/氯气储存及流量控制系统先向反应装置通入氩气排出其中空气,当反应装置中的反应温度达到设定值时,再改通氯气,氯气与球团充分反应,未反应的氯气和反应生成气态的SiCl4一起进入冷却系统,气态SiCl4被冷却成液态由收集系统收集,氯气被尾气吸收系统收集。该装置结构简单,方便操作,使用该装置和方法制备的SiCl4具有较高的转化率和纯度,且该方法对反应温度要求不是很高,工艺成本低。
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