发明公开
CN103017664A 激光光束分析仪校准方法及系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 激光光束分析仪校准方法及系统
- 专利标题(英): Method and system for calibrating laser beam analyzer
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申请号: CN201210497461.5申请日: 2012-11-28
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公开(公告)号: CN103017664A公开(公告)日: 2013-04-03
- 发明人: 王艳萍 , 马冲
- 申请人: 中国计量科学研究院
- 申请人地址: 北京市朝阳区北三环东路18号
- 专利权人: 中国计量科学研究院
- 当前专利权人: 中国计量科学研究院
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北三环东路18号
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 韩国胜
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02
摘要:
本发明属于仪器校准技术领域,公开了一种激光光束分析仪的校准方法及系统。构造的平行光场,经过标准孔径的光阑形成标准束宽的平顶光束,被校激光光束分析仪测量该平顶光束的束宽,比较测量值和光束宽度标准值,实现激光光束分析仪的校准。该方法及系统有效可行,准确稳定,操作简便,解决了激光光束分析仪光束宽度量值的溯源问题,并大大提高了校准精确度。
公开/授权文献
- CN103017664B 激光光束分析仪校准方法及系统 公开/授权日:2015-04-29