激光光束分析仪校准方法及系统
摘要:
本发明属于仪器校准技术领域,公开了一种激光光束分析仪的校准方法及系统。构造的平行光场,经过标准孔径的光阑形成标准束宽的平顶光束,被校激光光束分析仪测量该平顶光束的束宽,比较测量值和光束宽度标准值,实现激光光束分析仪的校准。该方法及系统有效可行,准确稳定,操作简便,解决了激光光束分析仪光束宽度量值的溯源问题,并大大提高了校准精确度。
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