- 专利标题： RRC过程和EBR过程用的稀释剂组合物、及供应前者的设备
- 专利标题（英）： Thinner composition for RRC process, apparatus for supplying the same, and thinner composition for EBR process
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申请号： CN201210357232.3申请日： 2012-09-24
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公开(公告)号： CN103019050A公开(公告)日： 2013-04-03
- 发明人: 尹孝镇 , 辛成健 , 李孝善 , 金柄郁 , 金贤友 , 尹锡壹 , 权五焕
- 申请人： 三星电子株式会社 , 株式会社东进世美肯
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星电子株式会社,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人： 三星电子株式会社,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 金拟粲
- 优先权： 10-2011-0095814 2011.09.22 KR
- 主分类号： G03F7/42
- IPC分类号： G03F7/42 ; B05C11/10 ; B05C11/11
摘要：
本发明涉及RRC过程和EBR过程用的稀释剂组合物、及供应前者的设备。所述RRC(减胶涂覆)过程用的稀释剂组合物包括乳酸烷基酯、环己酮和乙酸烷基酯，其中所述乙酸烷基酯的烷基取代基为C1-C5非基于醚的烷基。
公开/授权文献
- CN103019050B RRC过程和EBR过程用的稀释剂组合物、及供应前者的设备 公开/授权日：2018-01-05