本发明涉及一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、第二运输机构、第二小车定位机构、第二石墨舟定位机构与第二搬运小车；本发明大大提高了生产效率，降低了工人劳动强度，避免了人工手动上下料而引起的硅片破碎率高的问题，降低了生产成本。