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直拉单晶直径测量方法
摘要:
一种直拉单晶直径测量方法,包括利用一个CCD摄像头获取单晶生长图像以及对单晶生长图像进行处理,CCD摄像头的分辨率高于200万像素,对单晶生长图像进行处理包括步骤:提取单晶生长固液界面处的晶体轮廓;将晶体轮廓进行拟合,获得椭圆边界;将椭圆边界校正成圆形边界;以及获得单晶直径。本发明直拉单晶直径测量方法测定结果精度高,且操作简单,无噪音干扰。本发明可用于测量引晶、放肩、转肩及等径过程的单晶直径的测量。
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