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发明公开
CN103098252A 电流控制元件和使用其的非易失性存储元件 有权 转让

电流控制元件和使用其的非易失性存储元件
摘要：
本发明提供一种电流控制元件（100），其为以覆盖形成于层间绝缘层（102）的导通孔（104）的下部开口（105）的方式形成的电流控制元件，该电流控制元件包括：腐蚀抑制层（106），其在导通孔的下部开口的下部以覆盖全部的下部开口的方式形成；第二电极层（108），其形成在腐蚀抑制层之下，并由与腐蚀抑制层不同的材料构成；电流控制层（110），其形成在第二电极层之下，并与第二电极层物理接触；和第一电极层（112），其形成在电流控制层之下，并与电流控制层物理接触，其中，由第一电极层、电流控制层和第二电极层构成MSM二极管和MIM二极管中的任一个。
摘要（英）：

A current control element (100) that is formed so as to cover the bottom opening (105) of a via hole (104) formed in an interlayer insulating layer (102) includes: a corrosion inhibiting layer (106) formed at the bottom of the bottom opening of the via hole so as to cover the entire bottom opening; a second electrode layer (108) formed below the corrosion inhibiting layer and made of a different material from the corrosion inhibiting layer; a current control layer (110) that is formed below and in physical contact with the second electrode layer; and a first electrode layer (112) that is formed below and in physical contact with the current control layer. The first electrode layer, the current control layer, and the second electrode layer constitute either an MSM diode or an MIM diode.

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