一种大径高比超精密液体静压转台
摘要:
一种大径高比超精密液体静压转台,属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上,上浮止推板与转台底座固接,下浮止推板通过内隔环与转台底座固接,下浮止推板置于上浮板的环形槽内,径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接,主轴与上浮板固接,液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜,在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜,在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜,从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。
公开/授权文献
0/0